高純氬在半導體材料工業生產中用作生產制造高純硅和鍺晶體的維護汽體；可用作系統軟件清理、屏蔽掉和增加用稀有氣體；在有機化學液相堆積、磁控濺射和淬火等加工工藝中有一定的運用。高純氬可用作色譜儀載氣，也可用作規模性集成電路芯片中混合氣的稀釋液氣。氬被普遍用以填充弧光燈、熒光燈管和整流管；電焊焊接保護氣；在鈦、鈷以及他活力金屬材料的生產制造中用作屏蔽掉氣；在灰黑色冶金工業中，氬氣用以吹煉特殊鋼材，以提升鋼的品質，尤其是不銹鋼板生產制造中耗費很多氬氣。
工業氣體在食品方面，也是應用比較多的，特別是在包裝方面，可以防止食品氧化變質，起到保鮮的作用。速凍食品使用液氮深冷急凍技術，可凍結貯存水產品，使得水產品達到國家一級鮮度標準，急凍溫度至-32℃下，可以進行儲運，保持時間長，品質也能得到長時間保持。干食品對于自然干燥或人工干燥的花生、茶葉、奶粉、土豆片等食品，真空后充入氮氣，可以控制氧的含量，防止食品發生變色、變味或變質的現象。
蛋類通常使用二氧化碳，因為它的保鮮效果十分有效。啤酒通常使用中性的氮氣，因為它比酸性的二氧化碳能更好的保持啤酒的理化指標，并且液氮在生產成本上要比二氧化碳少30%。將氮氣泡注入啤酒水中，從而減少水中的含氧量，氣泡會產生濃度梯度，從而迫使溶解氧發生擴散。水果飲料罐頭一般是充入液氮，一方面可以排除罐內的空氣，另一方面，還可以減少罐壁厚度，延長其保質期，有利于貯存。
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